개요 

스케줄이 이산 사건에 기반하여 동작하기 위하여 이산 사건 시스템 모형 기법인 eFSM을 이용하여 구현

구현 조건

- 다양한 유형의 공정

- 교착상태(deadlock) 예방 및 회피, 회복 기능

- 공정 모듈의 내부에 쌓여진 화학물질을 주기적으로 청소하는 예방 정비(preventive maintenance)

- CVD (chemical vapor deposition) 등과 같이 시간제약이 있는 공정

관련 연구 

- CVD 클러스터 장비 스케줄러 개발

- A Virtual Cluster Tool for Testing and Verifying a Cluster Tool Controller and a Scheduler 

- A schedule of cleaning process for a single-armed cluster tool


 

개요

- CVD 공정과 같은 일부 공정의 경우 공정이 끝난 웨이퍼가 공정모듈에 오래 머무를 경우 고온,고압에 의하여 웨이퍼의 품질이 저하

- 공정이 끝난 웨이퍼가 머무를 수 있는 최장 시간이 정해져 있는 것을 클러스터 장비의 시간 제약이라고 부름

- 이산사건 시스템을 모형을 설계하는데 널리 사용되는 Petri net을 활용하여 작업시간의 최대,최소 시간을 지정

- (max,+) 대수를 활용하여 시간제약 만족 여부를 분석

관련 연구 

- Scheduling analysis of time-constrained dual-armed cluster tools

- Schedulability analysis of time-constrained cluster tools with bounded time variation by an extended Petri net

- Modeling and implementing a real-time scheduler for dual-armed cluster tools

- Schedule stabilization and robust timing control for time-constrained cluster tools

- Schedule restoration for single-armed cluster tools

- Scheduling of dual-armed cluster tools with time constraints

- An Asymptotic Cyclicity Analysis of Live Autonomous Timed Event Graphs